Elipsometër eksperimental LCP-25
Prezantimi
Polarimetri manual eliptik përdor metodën e zhdukjes për të matur trashësinë dhe indeksin e thyerjes së filmit, dhe rregullon manualisht devijimin dhe këndin e devijimit të procesit të provës. Elipsometria përdoret gjerësisht në matjen e filmit të hollë dielektrik në substratin e ngurtë. Në metodën e matjes së trashësisë së filmit, ajo mund të matet me saktësinë më të hollë dhe më të lartë.
Specifikimet
Përshkrim | Specifikimet |
Diapazoni i Matjes së Trashësisë | 1 nm ~ 300 nm |
Diapazoni i këndit të incidentit | 30º ~ 90º, Gabim ≤ 0,1º |
Këndi i kryqëzimit i polarizuesit dhe analizuesit | 0º ~ 180º |
Shkalla këndore e diskut | 2º për shkallë |
Min. Leximi i Vernier | 0,05º |
Lartësia e Qendrës Optike | 152 mm |
Diametri i fazës së punës | Φ 50 mm |
Përmasat e përgjithshme | 730x230x290 mm |
Pesha | Përafërsisht 20 kg |
Lista e Pjesëve
Përshkrim | Sa |
Njësia e elipsometrit | 1 |
He-Ne Laser | 1 |
Përforcues fotoelektrik | 1 |
Foto qelizë | 1 |
Film silicë në substratin e silikonit | 1 |
CD e softuerit të analizës | 1 |
Manuali i udhëzimeve | 1 |
Shkruajeni mesazhin tuaj këtu dhe na e dërgoni